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平塚 一; 三代 康彦; 小池 常之; 清水 正亜; 小室 健一*
JAERI-Tech 94-037, 43 Pages, 1995/01
JT-60Uではプラズマ原料ガスの注入にバイモルフ型圧電素子弁を用いているが、経年変化等により流量に変化が現われ、実験運転に支障をきたしてきた。そこで、特性等に優れた積層圧電アクチュエータを用いててこタイプの圧電素子弁を開発した。開発した積層圧電アクチュエータ型圧電素子弁は、実験運転におけるガス流量範囲が新範囲を有するように動作するものであり、試験の結果、ヘリウムリーク量1.33
10
Pam
/s以下、水素ガス0.2MPa背圧において最大流量~30.7Pam/sを有している。重水素ガスにおいても、分子量比に比例した安定な流量を得た。本報告書は、開発した積層圧電アクチュエータ型圧電素子弁の構造、特性及び試験結果等についてまとめたものである。
堀江 知義; 川崎 幸三; 平塚 一; 安光 直樹*
JAERI-M 84-097, 31 Pages, 1984/05
JT-60用圧電素子弁を実機に取付けた状態で実施する圧電子素子弁流量の較正方法について、試験及び会席の両面から検討した結果、以下の点が明らかになった。(1)圧電素子弁の竜量較正方法として、ゲート弁を開けた状態でポートマニホールド枝管圧力を測定して行なうダイナミック法を適用できる見通しを得た。(2)小容量圧電子素子弁が取付けられる枝管の圧力は、大容量圧電子素子弁の動作によって影響を受けるため、正確にガス注入量を求めることはできないため圧力上昇分の補正が必要である。(3)大容量圧電子素子弁のガス注入量測定に、MKSバラトロン真空計の1Torrセンサを使用すると、ガス注入時の圧力変化によって、センサのダイヤフラムが振動するため。ダイヤフラムの手前にオリフィスを設るなど改善の必要がある。
